真空泵的工作原理主要基于 抽气与排气的循环过程,通过机械能转化为气体的动能和势能,从而在封闭系统中实现真空环境。具体可分为以下几种常见类型及其工作原理:
一、水环式真空泵(液环泵)
结构原理 叶轮偏心安装,通过离心力形成封闭液环。水环下表面与轮毂相切,上表面与叶片顶端接触,形成月牙形空间,将泵腔划分为与叶片数量相等的腔体。
工作过程
- 吸气阶段: 叶片旋转使水环膨胀,腔体体积增大,形成低压区,气体被吸入; - 压缩阶段
- 液环作用:水环维持密封并传递动力,类似活塞运动。
二、罗茨真空泵
结构原理 由一对“8”字形转子(或三叶形转子)组成,转子垂直安装于平行轴,通过同步齿轮驱动反向旋转,形成密封腔体。
工作过程
- 吸气阶段: 转子转动使腔体体积增大,形成负压,气体被吸入; - 压缩阶段
- 特点:转速高、密封性好,适用于高真空环境。
三、往复泵(如活塞泵)
结构原理 通过活塞在泵腔内的往复运动实现气体压缩。活塞杆连接活塞与泵体,形成密封腔体。
工作过程
- 吸气阶段: 活塞向后运动,腔体体积增大,气体被吸入; - 压缩阶段
- 特点:结构简单,但转速较低,适用于中真空环境。
四、其他类型真空泵
扩散泵:通过分子扩散原理实现真空,适用于低真空度(如10-2帕);
旋片泵:利用离心力将气体甩向泵壁形成密封腔体,适用于中真空。
五、工作原理总结
真空泵的核心在于通过机械运动(如旋转、往复)或物理现象(如离心力、扩散)在泵腔内形成压力差,实现气体的持续抽吸和排出。不同类型的真空泵在结构和工作原理上有所差异,但均遵循“抽气+排气”的基本循环过程。