一、核心功能模块

数据预处理

- 荷电校正：

通过标准C1s结合能（284.8eV）对全谱进行校正，消除仪器系统误差。

- 背景去除：采用智能背景扣除算法（如双阳极XPS的卫星峰法）提升谱图清晰度。

分峰处理

- 自动与手动识峰：

支持全扫谱图自动识峰及高分辨窄扫谱图手动调整。

- 拟合方法：提供高斯函数、洛伦兹函数等模型对重叠峰进行分离。

元素分析

- 定性识别：

通过对比标准数据库中的结合能值确定元素种类。

- 定量分析：采用灵敏度因子法修正峰强，计算各元素的摩尔相对含量。

结果输出

- 数据导出：

支持导出为Excel、Word等格式，便于后续处理与报告。

- 谱图绘制：提供多种绘图选项，直观展示分析结果。

二、典型软件操作步骤（以Avantage为例）

数据导入与校正

- 打开软件后，导入VGP格式的XPS数据文件。

- 通过“荷电位移”功能调整C1s结合能至284.8eV，确保数据准确性。

分峰与拟合

- 选择需要分析的元素窄扫谱图，使用自动或手动模式进行峰识别。

- 对重叠峰应用高斯函数或洛伦兹函数拟合，调整参数优化峰形。

定量分析

- 选定定量范围（通常为背景平滑区域），计算峰面积或强度。

- 通过灵敏度因子法修正强度，得到各元素的摩尔百分比。

结果验证与报告

- 对比标准图谱确认元素种类及化学状态。

- 导出分析数据及谱图，生成报告。

三、注意事项

仪器校准：

分析前需对X射线源、探测器进行校准，确保数据可靠性。

软件选择：优先选择更新版本（如Avantage 6.9.0），并参考官方教程操作。

结果验证：通过交叉验证或二次分析确认结果准确性。

通过以上功能模块与操作步骤，可系统完成XPS数据分析，辅助材料科学、环境科学等领域的研究。